潔凈廠房內的工業管道材料和閥門是有考究的。應根據所輸送物料和使用工況來進行選用，應選擇滿足生產工藝的要求和使用特點，根據比較后確定。氣體管道和閥門的選用應符合生產工藝的要求， 當氣體純度大于或等于99.999％，露點低于－76℃時，應采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管或內壁光亮拋光的不銹鋼管。閥門則應采用隔膜閥或波紋管閥。
當氣體純度大于或等于99.99％，露點低于－60℃時，應采用內壁光亮拋光的不銹鋼管。除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其他氣體管道宜采用球閥。
在滿足不同的生產工藝要求的前提下，可以選擇比較合適的材質。大多數工廠采用的都是不銹鋼管，因為它化學穩定性好，滲透性小，吸附性差等特性，輸送的氣體質量能滿足生產工藝的要求。
如何選擇合適的閥門呢？
閥門的嚴密性好壞是影響氣體純度的重要因素之一。國內多數潔凈廠房管道閥門基本上采用的都是不銹鋼材質，閥門類型有隔膜閥、波紋管閥和球閥。可以根據氣體純度來選擇相符合的閥門。
