數(shù)字源表現(xiàn)廣泛用于半導(dǎo)體器件特性測試中,省錢省地,節(jié)約測試臺空間,同時(shí)實(shí)現(xiàn)了大動態(tài)測試范圍,集電壓、電流輸入輸出及測量等多種功能于一體,無論在研究實(shí)驗(yàn)室還是生產(chǎn)線,都要對封裝器件或在晶圓上的元器件I-V測試,那么功能如此齊全的數(shù)字源表在選購時(shí)需要注意哪些事項(xiàng)呢?在選購數(shù)字源表時(shí),您需了解的幾個(gè)知識點(diǎn):
1.源的輸出范圍
這個(gè)輸出范圍包括電流輸出范圍和電壓輸出范圍。
例如:
Precise S300:其電流輸出大范圍為1A,電壓輸出大范圍為300V;
Precise S200:其電流輸出大范圍為1A,電壓輸出大范圍為100V;
Precise S100:其電流輸出大范圍為1A,電壓輸出大范圍為30V
在這里請注意:由于源表有總功率的限制,其輸出不能同時(shí)達(dá)到電流輸出和電壓輸出的大值,而是在不同的區(qū)間,其輸出范圍有不同的限制,
因此我們在選購源表的時(shí)候,一定要考慮到需要測量的樣品器件的電流電壓的大范圍,然后參考儀器的參數(shù)手冊,看是否符合測試要求。
2.測量的精度
這里測量的精度包含了電流測量精度和電壓測量精度。
在實(shí)踐當(dāng)中,用戶關(guān)心更多的是電流的測量精度,同樣值得注意的是源表的測量精度也是分量程的,并不是全范圍的精度都是一樣,例如在1uA范圍內(nèi)的量程其精度比1mA,10mA要高很多。
用戶常常混淆的一個(gè)概念是量程和測量精度的關(guān)系,量程是一個(gè)檔位的概念,相當(dāng)于在這個(gè)檔位測量的大值、而測量精度是在該量程內(nèi)測量的分辨率及準(zhǔn)確度,我們舉個(gè)例子:例如一個(gè)稱重的儀器,100克是它的一個(gè)檔位,也就是說在這個(gè)檔位,它大能稱重100克的物體,但測量精度根據(jù)精密程度可能是精確到1微克,1毫克等等。
具體的測量精度就可以參考每種型號的Datasheet(數(shù)據(jù)表)。
3.通道數(shù)
一般情況下的源表只有一個(gè)通道,也就是只有一路測量及輸出通道,雖然有的源表有前后兩個(gè)面板都可以接線,但在使用的時(shí)候只能選擇某一個(gè)面板輸出。單通道的源表包括:S100、S200、S300型;
雙通道的源表可以理解為兩個(gè)單通道的源表集成在了一起,這樣一臺雙通道的源表就可以直接測試三端器件,利用2臺普賽斯S型源表即可達(dá)到雙通道的效果。
還有一些用戶認(rèn)為四線法測量需要雙通道的源表才能完成,實(shí)際上任何一款單通道的源表都直接支持4線法的測量,跟雙通道沒有任何關(guān)系(我們在以后會介紹四線制的測量原理)。
4.測量的速度(采樣率)
除了精度和測量范圍之外,測量的速度是用戶關(guān)心的問題了,我們經(jīng)常會聽到用戶這么問:這款表一秒鐘能采多少個(gè)點(diǎn)?指標(biāo)上明明寫著每秒能采XXX個(gè)點(diǎn),怎么實(shí)際上一秒鐘才幾個(gè)點(diǎn),相差幾十倍?
采樣率不是一個(gè)固定的數(shù)值、它受到很多因素的影響,其中有以下幾個(gè)主要因素:
NPLC(積分周期):這個(gè)值越大,測量的精確性和穩(wěn)定性越好,但測量的速度越慢。
測量信號的大小及量程:固定量程比自動量程要快,在自動量程的情況下,如果測量電流信號很小(尤其是在光電器件的暗電流的時(shí)候),其采樣速度會大幅下降。
5.是否支持脈沖輸出
目前普賽斯儀表的S系列源表是不支持脈沖的
6.關(guān)于軟件
S系列軟件,兼容2400和2450,對使用2400和2450搭建的已有測試系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)替換,而無需修改測試系統(tǒng)軟件。
7.關(guān)于測試搭建
簡易測試連接電極直接測試,其它要求可采取與探針臺,測試機(jī)配套使用。
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